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      旋片式真空泵超壓的情況及應對措施

      與進入反應釜參加反應的氣體不同,旋片式真空泵從反應釜內抽出的混合氣體的準確組成成分是不知道的,只知其為下述物質的混合物。
      ①未分解的反應氣體和蒸汽(CVD淀積的效率通常小于總量的百分之三十);
      ②揮發性的反應生成物和副產物;③攜帶氣體,如H2〔活性的)、N2和Ar(惰性的)!  
      這些混合物在經過旋片式真空泵,被排到尾氣管道的過程中會出現以下幾種情況:    
      (a)它們可能通過前級泵轉移走,也可能有一小部分在旋片泵內累積起來!   
      (b)它們可能在泵內發生反應,如同用SiH4與O2淀積SiO2,在泵的出口處(處在大氣壓下)生成大量的SiO2。
      (c)它們可能與泵油和泵體材料發生反應!   
      (d)它們可能排出泵后與H2O和O2發生反應(例如,TiCl4水解后形成HCl,WF6水解后形成HF),或在有空氣漏入或擴散進入泵油時,在泵內與之發生反應。
      正是由于上述復雜的反應,可能會引起下列的情況,并形成堵塞:①由反應氣體產生的顆粒堆積起來;②排出的源氣體與排氣管的空氣或洗滌塔來的潮濕氣體發生反應;③由于升華固體的堆積。如LPCVD氮化硅工藝所產生的NH4Cl。如果泵的排氣口或排氣管道被堵塞都將會使真空泵油腔內出現大的超壓。使自燃物的燃燒極限范圍被擴大,從而容易發生危險。為了避免超過極限工作壓力,必須對泵的排氣口部位、排氣管道和連接附件應該進行定期檢查和清洗。并使用高效過濾器來收集固體顆粒。


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