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      滑閥式真空泵的結構特點

      旋片泵相似,滑閥泵也設有氣鎮閥,氣鎮孔開在排氣口附近或端蓋上,以排出含有可凝性蒸汽的被抽氣體。在泵出口設置油氣分離器,以減少泵油的損耗和對環境的污染。
      目前,滑閥泵有三種結構形式:
      (a)滑閥桿鉸接在滑閥環上。
      (b)滑閥桿與滑閥環做成一體。
      (c)行星式滑閥泵。
      行星式滑閥泵與體積和轉速相同的其他型式的滑閥泵相比,由于滑閥體尺寸較小,抽速較大。但由于滑閥桿擺動的幅度很大,這種結構只使用于小型泵。在實際產品中,均采用以滑閥桿與滑閥環做成一體的結構。

      為減少滑閥不彭亨慣性力引起的振動,對于單缸單級泵,要在驅動輪對面一側加平衡輪,并在驅動輪上加不平衡質量進行平衡減振;雙缸滑閥泵為單級并聯,常用于中、小型泵,以降低極限壓力,該結構中,兩個滑閥長度比一般為2:1,相差180°設置,再在驅動輪上加上不平衡質量。

      對三缸滑閥泵,有等長缸和不等長缸兩種型式,以不等長缸為常見。對于三缸滑閥泵,中間是一長缸,兩側各為等長短缸,長缸與短缸比為2:1,相差180°布置。中間滑閥產生的慣性力由兩側滑閥產生的相反方向的慣性力所平衡,因此,三缸滑閥泵的振動很小,無需將泵固定在地基上九可以正常工作了。

      排氣閥是滑閥泵中的易損件,也是泵主要噪聲來源之一。在入口壓力較高時,排氣量較大,排氣閥硬閥板打開;在極限壓力時,只有少量的氣泡和泵油被排除,此時,硬閥板不動,由柔性閥板打開排氣。為防止油的返流,增加噪聲,柔性唇必須在0.01s時間內完成打開,關閉動作。

      滑閥泵為排除可凝性蒸氣也設置了氣鎮閥。在極限壓力下,為減小泵油沖擊排氣閥產生的噪聲,也可以通過氣鎮閥向泵內放入少量干燥空氣。
      泵油在華發泵中氣道潤滑和密封的作用。適當的設置油路是十分重要的,有時可采用油泵進行強制供油。在雙級泵中,泵油應先進入低真空側,經脫氣的泵油再進入高真空側,以便獲得更低的極限壓力。
      在滑閥泵出口處應設置油霧捕集器,用以捕集和回收由排氣閥排除的混在被抽氣體中的油滴,既可以節省泵油,又可以減少對環境的污染。油霧捕集器一般有三級: 第一級是碰撞罩,除去較大的油滴;第二十不銹鋼填料,收集小油滴;第三是燒結的比例纖維,捕集可見油霧。


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